工業制氧方面，對于中小規模的制氧需求，也有使用變壓吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工藝，工作原則是利用高效的氮氧分離吸附劑吸附氮氣，吸附一定時間進行解吸再生，周期性操作，兩塔或者更多吸附塔并聯，達到連續產氧的目的。
工業制氧機分離空氣主要由兩個填滿分子篩的吸附塔組成，在常溫條件下，將壓縮空氣經過過濾，除水干燥等凈化處理后進入吸附塔，在吸附塔中空氣中的氮氣等被分子篩所吸附，而使氧氣在氣相中得到富集，從出口流出貯存在氧氣緩沖罐中，而在另一塔已完成吸附的分子篩被迅速降壓，解析出已吸附的成分，兩塔交替循環，即可得到純度為≥90%的廉價的氧氣。整個系統的閥門自動切換均由一臺電腦自動控制。
工業制氧機系統流程：
1、壓縮空氣凈化組件
空氣壓縮機提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中，壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油、水、塵，再經冷凍干燥機進一步除水、精過濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的超精過濾器進行深度凈化。
2、空氣儲罐
空氣儲罐的作用是：降低氣流脈動，起緩沖作用；從而減小系統壓力波動，使壓縮空氣平穩地通過壓縮空氣凈化組件，以便充分除去油水雜質，減輕后續PSA氧氮分離裝置的負荷。同時，在吸附塔進行工作切換時，它也為PSA氧氮分離裝置提供短時間內迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使吸附塔內壓力很快上升到工作壓力，保證了設備可靠穩定的運行。
3、氧氮分離裝置
裝有專用分子篩的吸附塔共有A、B兩只。當潔凈的壓縮空氣進入A塔入口端經分子篩向出口端流動時，N2被其吸附，產品氧氣由吸附塔出口端流出。經一段時間后，A塔內的分子篩吸附飽和。這時，A塔自動停止吸附，壓縮空氣流入B塔進行吸氮產氧，對并A塔分子篩進行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的氮來實現的。兩塔交替進行吸附和再生，完成氧氮分離，連續輸出氧氣。上述過程均由可編程序控制器（PLC）來控制。當出氣端氧氣純度大小設定值時，PLC程序作用，自動放空閥門打開，將不合格氧氣自動放空，確保不合格氧氣不流向用氣點。氣體放空時利用消音器消聲使噪聲小于75dBA。
4、氧氣緩沖罐
氧氣緩沖罐用于均衡從氮氧分離系統分離出來的氧氣的壓力和純度，保證連續供給氧氣穩定。同時，在吸附塔進行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護床層的作用，在設備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。
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